1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称： 矩阵光谱椭偏仪
（2）技术指标：
序号
货物/服务名称
详细参数要求
1
矩阵光谱椭偏仪
硬件
一、仪器功能用途：
椭偏仪可一次测量全 矩阵16个偏振参数元素（m11归一化，8组Rpp、Rss主对角偏振元素，8组Rps、Rsp辅对角偏振元素），快速无损，精准表征，主要用于各种各向同性/各向异性微纳薄膜的几何厚度、光学常数、几何关键尺寸等形貌信息以及材料光学特性信息提取。
二、主要技术要求：
1. ▲测量能力：一次性获得全 矩阵16个元素（m11归一化，8组rpp, rss主对角偏振元素，8组rsp, rps辅对角偏振元素）、偏振态Psi/Delta（-90-270°，360度无死角）、反射率/透射率、退偏指数等光谱
2. 光谱范围：380-1650nm 覆盖可见到近红外波段
3. 测量时间：单点测量不超过15秒
4. 光斑尺寸：大光斑模式2-4mm，微光斑模式200μm消透明衬底背反
5. 可视化调平系统：支持样件台可视化辅助对准调平
6. ▲调制技术：超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术
7. 入射角范围：45-90°(5度步进)
8. 样品台：支持Z向、俯仰可调，支持样件尺寸到Ф200mm真空吸附固定测量
9. ▲重复性测量精度：优于0.005nm （100nm SiO2硅片，30次重复测量）
10. ▲绝对精度： 矩阵优于：非对角元素m=0±0.005（直通模式测量空气，所有测量波长点的90%满足），褪偏指数Depolarization优于：±0.5%（测量裸硅，全波段90%满足）
11. ▲分析软件：必须具备周期性纳米光栅结构建模仿真与分析功能，内置多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；具备多层各向同性/异性光学薄膜建模分析能力
12. 测控分析电脑：CPU：Intel 酷睿处理器，RAM：≥4G，ROM：≥500G，显示器：≥19寸， windows操作系统
软件
1. 测量光谱范围：测量样件偏振光谱Psi/Delta值域为-90-270°，360度且测量波段覆盖380-1650nm；
2. 膜厚重复性精度：硅片标样，择中间区域重复测试30次，计算测量结果的标准差需优于0.005nm；
3. 折射率重复性精度：硅片标样，择中间区域重复测试30次，模型计算测量结果的标准差需优于0.0005；
4. 偏振态绝对精度：仪器须支持测量16组 矩阵偏振态以及褪偏光谱。直通测量空气， 矩阵偏振态非对角元90%波段满足m=0±0.005。测量裸硅褪偏指数90%波段优于：±0.5%；
5. 软件光栅建模能力：支持针对薄膜以及周期性纳米光栅结构进行建模仿真与分析功能；
6. 测量时间：从单点测量样件到生成偏振数据时间不超过15s。
2
售后服务
1. 供货方免费送货上门且承担由于包装不妥、运输而引起的货物锈蚀、损伤和丢失的责任；
2. 供货方委派安装及维修工程师到现场完成安装、调试、技术指导。安装调试均为我方免费提供现场安装、调试和技术指导，相关现场安装及基本的培训服务，不限参加人数。；按双方签订的合同技术附件所规定的条款进行验收，由供需双方共同签字认可才作现场验收；
3. 供货方提供提供自验收合格之日起原厂1年的免费质保期；
4. 供货方提供自验收合格之日起终生免费软件升级，升级算法模型库和分析材料库。终身无偿数据建模分析支持；
5. 提供货物售后服务。在需方提出维修要求后，12小时内做出响应，48小时赶到现场。一般问题应在48小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应根据实况优先尽快最短时间内解决；
（3）数量：
产品
数量/单位
1套
（4）交货期：合同签订后45天内
（5）交货地点：437ccm·必赢国际微电子学院
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）： 43万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2021年9月6日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2020年9月8日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
9月7日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区437ccm·必赢国际北区第一馆
常晓阳 老师收，手机号：13167536270
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常晓阳 老师，邮箱：changxiaoyang@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
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