1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：实验室工艺设备特殊气体气路管理分配系统
（2）技术指标：
序号 |
货物/服务名称 |
详细参数要求 |
1 |
特殊气体气路管理分配系统 |
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微纳实验室供气设备 |
1、设备技术参数： （1）BCl3气路分配管理： 由特气阀箱配给ICP设备 ，供气点：1个。具备紧急切断功能，手动关断功能，排风功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （2）H2 气路分配管理：由特气阀箱配给设备CVD和ICP设备，供气点：1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （3）SiH4 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD设备，供气点：4个。具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。管道要求双套管输送管理保证无泄漏，内管泄露报警功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；； （4）CH4 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD设备，供气点：2个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （5）HBr 气路分配管理：由特气阀箱配给设备CVD设备，供气点：1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （6）NH3 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD和ICP设备，供气点：6个。设备具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （7）高纯氮 气路分配管理：由纯化器气路配给 CVD、退火炉，ICP，RIE设备，供气面板：7个，面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；。 （8）Ar 气路分配管理：由气架气路配给设备PVD、CVD 、退火炉、ICP、RIE、IBE，等离子去胶机设备，供气面板：8个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （9）He 气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE 、IBE 设备，供气面板：7个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （10）O2 气路分配管理：由气架气路配给PVD 、 CVD、ALD、退火炉，ICP ，RIE ，IBE ，等离子去胶机设备，供气面板: 10个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （11）CF4 气路分配管理：由气架气路配给CVD、ICP、RIE设备， 供气面板：4个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （12）SF6 气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE设备，供气面板：2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （13）CHF3气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE设备，供气面板：2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （14）N2O 气路分配管理：由气架气路配给CVD设备，供气面板：1个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求 ； （15）N2 纯化器旁通设备：有氮气站供气系统接入纯化氮气系统。要求使用双阀隔离。出口可以满足99.999999%纯度气体输送要求 ； （16）设备架：共2台，采用不锈钢材质，满足ICP混气柜和冷水机的需求； （17）应急电池组设备： 共1台，采用移动式，容量为6KW.hr。
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2 |
售后服务 |
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售后服务 |
1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期2年。 |
（3）数量：
序号 |
产品 |
数量/单位 |
1 |
特殊气体气路管理分配系统 |
1套 |
2 |
安装实施服务 |
1项 |
（4）交货期：合同签订后60天内
（5）交货地点：437ccm·必赢国际微电子学院
（6）是否接受进口产品：是
2、采购预算（最高限价）： 98万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2021年 10月15日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2021年10月18日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
10月17日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区437ccm·必赢国际北区第一馆
王新河 老师收，手机号：15011422083
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
王新河 老师，邮箱：xinhe@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
