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纳米通用图形发生器系统

硬件

一、仪器功能用途：

纳米通用图形发生器和扫描电子显微镜组建的电子束曝光系统是纳米加工的重要装备，它可以在硅片上直接曝光制作出纳米级图形，然后通过图形转移的方法制作出纳米级功能图形，也可以用它制作掩模板。面向应用领域：半导体，光电子，微机械，纳米材料，物理化学，生物，半导体等；是开展微纳米加工技术和无机材料、生物材料、纳米材料等研究的重要手段。

二、主要技术要求：

1. 扫描频率优于10 MHZ，传输数率不低于300MB/S。

2. 具有独立的X和Y方向电子束偏转控制，D/A转换不小于16位；

3. 微处理器信号处理能力优于30M,支撑高效，高分辨的曝光。

4. 配置显示屏实时显示曝光进程。

5. 具有末端控制信号实时跟踪显示功能，用于诊断图形输出信号。

软件

1. 基于Windows的操作系统的应用软件，具有图形编辑，读写及转换及图形导入功能。

2. 具有图像分层设计功能，根据需要将任意几何元素定义在不同的层，实现单层或多层组合曝光；

3. 具有图像采集功能，并据此对样品图像的平移、旋转、增益（缩放）进行控制，可实现位移，旋转，增益矫正刻写场。

4. 具有标记检测和位置修正，用于拼接和套刻对准。

5. 具有曝光点、线、区域及任意图形能力；

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售后服务

售后服务

1. 供货方保证所供产品是全新、完全符合买方规定的质量、型号和性能要求，所供产品达到相关技术标准和规范要求，同时符合买方文件规定的相关要求。

2. 供货方免费运输到买方指定的实验室现场，并组织安装调试。在运输、搬运、安装、调试、维护、培训中所产生的费用由供货方承担。

3. 供货方委派资深工程师到现场完成安装、调试、技术指导。安装调试均为供货方免费提供现场安装、调试和技术指导。

4. 质量保证期为自验收合格后1年原厂质保。

5. 在质保期内供货方负责免费更换损坏的零部件，7*24售后服务热线并提供终身上门维修服务，根据问题严重情况和客户需求，在规定的时间内到达客户现场协助进行问题排查和解决。超保后供货方仍支持24小时售后服务热线，终身维护，更换零部件等费用仅收取成本费用。